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Applied Materials公布適用于3nm與GAA下一代晶體管制造工具
(2025年3月29日更新)

上個月,三星代工(Samsung Foundry)部門悄然宣布其定位 2022 年 2 季度開始使用 3GAE 生產芯片的技術工藝。作為業內第一個使用芯片的人 GAA 晶體管的 3nm 可以看出,這個術語指的是3nm環柵晶體管和早期Vishay代理地制造 GAA 晶圓廠還必須配備必須配備新的生產工具。來自應用材料(Applied Materials)公司的下一代工具將為三星等晶圓廠提供服務 GAA 芯片制造支持。

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(來自:Applied Materials 官網 ,via AnandTech )

為了滿足芯片設計師的需求,預計新工藝將實現更低的功耗、更高的性能和晶體管密度。然而,近年來,這種組合一直難以實現 —— 晶圓廠必須克服漏電等負面影響,

為了縮放晶體管的尺寸,保持其性能和電氣參數,芯片電氣參數 2012 年初,從平面晶體管過渡到 FinFET(鰭場效應晶體管)增加晶體管溝與柵極之間的接觸面積。

顧名思義,環柵場效應晶體管(GAAFET)溝渠是水平的,所有四面都被柵極包圍,從而很好地解決了與漏電有關的尷尬。

但這還不是 GAAGET 以納米片為基礎的唯一優勢 / 納米帶的 GAAFET 為了獲得更高的性能或降低功耗,晶圓廠還可以調功耗。

三星的 3GAE 和 3GAP 這個過程就是使用所謂的納米帶技術。該公司甚至使用它 GAAFET 稱為多橋通道場效晶體管(MBCFET),劃清與納米線競爭方案的界限。

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