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與科技創(chuàng)新板共同成長,中微公司迎來上市三周年
(2025年3月29日更新)

在科技創(chuàng)新板開市三周年之際,中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱中微公司)作為科技創(chuàng)新板首批上市的25家企業(yè)之一,也迎來了上市三周年。攀登勇者,志在巔峰。隨著科創(chuàng)新委員會成立以來,依托強有力的政策和財政支持,半導體設備龍頭股堅持創(chuàng)新驅動發(fā)展,實踐科學管理規(guī)則,實現(xiàn)業(yè)績穩(wěn)步增長,在技術創(chuàng)新、業(yè)務發(fā)展、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)調、人才建設等方面取得了重大進展。

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· 公司營業(yè)收入和利潤分別達到31.08億元和10.11億元,是2019年銷售和利潤的1.5倍和5.3倍;

· 截至2021年底,公司已申請2012項專利,其中發(fā)明專利1741項;

· 2021年共生產(chǎn)付運ICP蝕刻設備134腔,產(chǎn)量同比增長235%;

· 2021年,公司員工1048人,其中研發(fā)人員占39.6%,人均創(chuàng)收再創(chuàng)新高,同比增長15.5%。

建立科技創(chuàng)新委員會,實行注冊制度,為科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的活力,為高新技術企業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造新的機遇。尹志公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士說:在科技創(chuàng)新板上市對中微公司具有重要意義。回顧過去三年,我們拓寬了融資渠道,增強了品牌的市場影響力,贏得了更多與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)合作的機會;另一方面,良好的股權激勵政策也使我們能夠更好地激勵員工,建團隊,加快發(fā)展,為世界領先的一流設備公司鋪平道路。”




2019年7月22日,中微公司在首批25家科技創(chuàng)新企業(yè)集體上市儀式上合影留念。

國際領先的尖端產(chǎn)品,構建企業(yè)硬技術的實力

中微公司致力于開發(fā)打造具有國際競爭力的技術創(chuàng)新和差異化產(chǎn)品,為客戶和市場提供性能優(yōu)越、生產(chǎn)效率高、性價比高的設備解決方案,開發(fā)微觀加工設備。

中微公司憑借國內(nèi)首款高端等離子體刻蝕機,已成為國內(nèi)高端微觀加工設備的領頭羊。在蝕刻設備方面,中微等離子體蝕刻設備已批量應用于65納米至14納米、7納米、5納米、更先進的集成電路加工制造和先進包裝,其中 CCP等離子體蝕刻設備產(chǎn)品繼續(xù)保持競爭優(yōu)勢,部分關鍵客戶的市場份額已進入前三甚至前兩位;ICP蝕刻設備在客戶端也取得了突破,2021年付運超過130腔,同比增長超過230%。

在MOCVD中微公司用于氮化鎵基LED外延生產(chǎn)的MOCVD該設備已在行業(yè)領先的客戶生產(chǎn)線上大規(guī)模投入大規(guī)模生產(chǎn),中微公司已成為世界領先的氮化鎵基LED設備制造商,并繼續(xù)保持行業(yè)領先地位。

此外,中微公司還在開發(fā)應用于集成電路后道的先進封裝設備MEMS、Mini LED國際先進設備產(chǎn)品等領域。截至2021年底,中微公司已有2300多洲50多家芯片制造公司0多家芯片制造公司提供70多條生產(chǎn)線。

高效利用資金,創(chuàng)新動能蓄勢發(fā)力

中微公司上市后,高效利用募集資金,不斷創(chuàng)新、提高效率、精益經(jīng)營,與客戶和合作伙伴合作共贏,穩(wěn)步提高產(chǎn)品訂單和銷售。2021年,中微企業(yè)營業(yè)收入和利潤創(chuàng)歷史新高,營業(yè)收入同比增長36.7%至31.08億元,歸屬于母公司的凈利潤同比增長105.5%至10.11億元,是2019年科技創(chuàng)新板上市當年銷售和利潤的1.5倍和5.3倍。




中微公司作為一家實力雄厚的硬科技公司,登陸科技創(chuàng)新板后,繼續(xù)保持高水平的研發(fā)投入。R&D投資大,R&D投資比例高,保證了公司專注于高端微加工設備的自主R&D和創(chuàng)新。自上市三年以來,公司繼續(xù)推進以研發(fā)創(chuàng)新為驅動的優(yōu)質增長戰(zhàn)略的實施。2021年,公司研發(fā)同比增長13.8%,占2021年營業(yè)收入的23.42%。截至2021年底,中微擁有多項自主知識產(chǎn)權和核心技術,申請2012項專利,其中發(fā)明專利1741項,授權專利1179項,其中發(fā)明專利993項。

硬科技的實力離不開一支技術精湛、勇于創(chuàng)新的國際人才隊伍。上市后,中微公司實施了第二類限制性股票激勵計劃,基本覆蓋全體員工,吸引和留住優(yōu)秀人才,確保核心技術團隊和技術開發(fā)的穩(wěn)定性和可持續(xù)性。全員持股的激勵制度和雙贏合作的團隊精神吸引了世界各地經(jīng)驗豐富的半導體設備專家,形成了成熟的研發(fā)和工程技術團隊。2021年,公司研發(fā)人員415人,占員工總數(shù)的39.6%;同時,公司人均收入再創(chuàng)新高,達到326萬元,同比增長15.5%。

2021年,公司成功完成再融資發(fā)行,募集資金約82億元,是繼2019年科技創(chuàng)新板上市后支撐企業(yè)快速發(fā)展的又一里程碑。公司不斷提高R&D投資的強度和效率,有效保證了公司在科技創(chuàng)新、高水平R&D團隊建設、科學合規(guī)運營、國內(nèi)外業(yè)務拓展、領先客服支持等方面的質量,不斷提升企業(yè)的綜合競爭力,積累產(chǎn)品、技術和運營能力的重要儲備。隨著籌集資金的到位,公司加快了南昌研發(fā)生產(chǎn)基地和上海臨港產(chǎn)業(yè)化基地的建設。未來兩年,中微公司將全面建現(xiàn)有面積大十倍以上的工廠,進一步擴大高端設備生產(chǎn)能力,提高研發(fā)能力和科技創(chuàng)新水平,為高速、穩(wěn)定、安全的大發(fā)展奠定堅實基礎。




南昌R&D生產(chǎn)基地約14萬平方米(圖左),上海臨港新區(qū)R&D生產(chǎn)基地約18萬平方米,總部大樓約10萬平方米(圖右)。

打造具有國際競爭力的平臺企業(yè)

作為中國領先的高端微觀加工設備公司,除了加快技術創(chuàng)新,提高產(chǎn)業(yè)規(guī)模外,整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游及相關資源是中微企業(yè)的另一個動力點。中微公司希望充分發(fā)揮其行業(yè)影響力和聚集力 ,積極推進國內(nèi)外多家領先的半導體設備、材料和關鍵部件配套企業(yè)的協(xié)調發(fā)展,共同建設企業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟,逐步形成產(chǎn)業(yè)集群。

中微公司在保持快速發(fā)展的道路上,通過不斷的探索和實踐,積極踐行企業(yè)社會責任,幫助實現(xiàn)和實現(xiàn)國家雙碳目標Epson代理。2022年4月,中微公司首次發(fā)布 “ESG 《環(huán)境、社會和治理報告》充分展示了其在提高產(chǎn)品質量和服務、完善治理機制、履行社會責任、保護環(huán)境等方面的一系列措施和成果。

上市三周年也標志著中微企業(yè)迎來了新的成長階段。公司堅決實施科學管理和經(jīng)營體系,不斷提高企業(yè)經(jīng)營質量,堅持四十為中心,通過產(chǎn)品開發(fā)、戰(zhàn)略銷售、經(jīng)營管理、精神文化行業(yè)宣傳輸出,與國內(nèi)外合作伙伴實現(xiàn)技術進步,共同促進半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

未來,中微公司將繼續(xù)瞄準世界科技前沿,繼續(xù)實施三維發(fā)展戰(zhàn)略,深化集成電路關鍵設備領域,擴大泛半導體關鍵設備應用,積極探索其他新興領域,微型公司進入國際競爭平臺企業(yè)集團,以硬技術實力加快科技力量建設,實現(xiàn)高水平科技發(fā)展。


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