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阿斯麥CEO：不賣EUV是中國大陸政府的選擇

（2024年11月23日更新）

(原標題:光刻機巨頭阿斯麥CEO：不賣EUV是中國大陸政府的選擇)

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【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】

這不是我們的選擇，而是政府（瓦森納協(xié)議成員國）的選擇。荷蘭光刻機巨頭阿斯麥CEO溫彼得再次出口到中國大陸EUV光刻機解釋說。他今年1月表示，中國不太可能獨立復制。（replicate）頂級的光刻技術，但也不那么絕對，他們肯定會嘗試。

觀察者網(wǎng)注意到，由于最先進EUV自2021年以來，溫彼得多次表示，設備無法出口到中國大陸。2021年4月，他呼吁美國政府對中國的出口管制不僅會阻礙中國的技術進步，還會損害美國自身的經(jīng)濟。限制出口只會加快中國自主研發(fā)的速度。

但美國顯然對溫彼得的聲明視而不見。

2021年7月，美國官員透露，拜登政府正在確認EUV在科技產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略價值之后，光刻機選擇延續(xù)特朗普時期的政策。溫彼得隨后表示，該公司將不得不觀察中國大陸的變化。

隨著全球芯片短缺抱怨產(chǎn)業(yè)鏈，阿斯麥作為最關鍵的半導體生產(chǎn)設備——光刻機制造商，越來越受到行業(yè)的關注。美國消費者新聞和商業(yè)頻道（CNBC）最近對阿斯麥總部進行了實地考察。

圖源：ASML

因為缺芯，每天都在掙扎

費爾德霍芬，一個靠近荷蘭南部比利時邊境的小鎮(zhèn)（Veldhoven），世界上唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機的家庭（EUV）阿斯麥企業(yè)（ASML）。在數(shù)據(jù)中心，汽車和iPhone在提供計算能力的先進半導體制造中，EUV光刻是最昂貴的一步。

阿斯麥壟斷了極紫外光刻機的制造，我們今天使用的每一個先進處理器都需要使用EUV美國塔夫茨大學光刻機。（Tufts University）克里斯·米勒說，每一個EUV光刻機是歷史上最復雜的設備之一，重180噸。

EUV是極紫外光（Extreme Ultraviolet）這是一種波長極短的光，阿斯麥生產(chǎn)的設備可以在硅片上雕刻大量的小而復雜的電路。極紫外線是由二氧化碳激光每秒噴射5萬次的液體錫滴（molten tin）這種光通過直徑0.65米的橢球反射鏡送入光刻機。一些極紫外線顆粒被照射到硅片表面，然后雕刻出決定每個芯片功能的小圖案。

極紫外光刻機內部

由于全球芯片短缺，索尼的游戲機PS5.雪佛蘭汽車的訂單積壓開始出現(xiàn)，芯片制造商對阿斯麥EUV對光刻機的需求大幅增加。自2018年底以來，阿斯麥股價飆升超過340%，使得該公司的市值超過了英特爾等一些大客戶。

阿斯麥CEO溫彼得（Peter Wennink）該公司自成立38年以來一直致力于降低半導體的生產(chǎn)成本，并將在未來幾十年繼續(xù)這樣做。溫彼得說：世界需要更多的芯片，所以我們需要制造更多的機器。順便說一句，只要我們能繼續(xù)降低每個晶體管的生產(chǎn)成本，這些光刻機的平均價格就會繼續(xù)上漲。

即便如此，溫彼得還是認為全球芯片短缺對阿斯麥來說是Catch-22(第二十二條軍規(guī)意味著進退兩難，左右為難)。

我們從供應商那里收到了很多信息，他們說，‘嘿，我們可能會推遲向您交付模塊，因為我們無法獲得芯片。’我們說，‘如果我們得不到芯片，我們就不能制造機器來生產(chǎn)更多的芯片。’溫彼得承認阿斯麥仍在運營，但每天都在掙扎。

阿斯麥CEO溫彼得

荷蘭公司嚴重依賴美國零部件

據(jù)溫彼得透露，阿斯麥在過去10年里賣出了140臺EUV現(xiàn)在每個光刻系統(tǒng)的價格高達2億美元，而下一代的高值孔徑（High NA）EUV光刻機的價格將超過3億美元。

市場調研機構Semico Research喬安妮，制造業(yè)總經(jīng)理·伊托評論說，阿斯麥EUV光刻系統(tǒng)太貴了，大多數(shù)公司都買不起。她認為，包括芯片制造商格羅方德在內的許多制造商將被排除在市場之外。格羅方德于2018年宣布停止7，因為成本太高nm以下先進工藝的研發(fā)。

現(xiàn)在，阿斯麥EUV只有五個客戶(臺積電、三星、英特爾、SK海力士和美光)。2021年，最大的三大客戶——臺積電、三星和英特爾占阿斯麥業(yè)務量的84%。臺積電表示，該公司于2019年率先采用EUV從那以后，光刻機一直處于領先地位，芯片制造至少領先于三星和英特爾。

CNBC阿斯麥在光刻機領域的主導地位仍然是一個相對較新的現(xiàn)象。十年前，該公司開始進軍EUV研發(fā)由英特爾、三星和臺積電的重大投資決定。

1999年加入阿斯麥的溫彼得說：我們沒有錢，我們出去尋找合作伙伴，這實際上是我們建立公司的基礎。因此，我們被迫成為系統(tǒng)架構師和系統(tǒng)集成商。

回到1984年，阿斯麥成立時是荷蘭電子巨頭飛利浦的子公司。在荷蘭艾恩德霍芬飛利浦辦公樓旁邊的一個漏水的小房間里，阿斯麥在20世紀50年代在美國軍事實驗室發(fā)明了第一臺半導體光刻設備。

阿斯麥開啟光刻機研發(fā)的地方圖源：ASML

阿斯麥負責第一個光刻工具看起來像投影儀EUV業(yè)務執(zhí)行副總裁克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）基本上會有一標記來保存你想要投影的圖像。然后有一個光學系統(tǒng)，它將圖像投射到晶圓上。

到1988年，阿斯麥在美國有5個辦事處，共有84名員工，并在荷蘭費爾德霍芬設立了新的辦事處，最終成為該公司的總部。

半導體行業(yè)準備進入EUV在研究的早期階段，沒有一家美國公司準備冒險嘗試這個昂貴而危險的項目，但阿斯麥做出了不同的選擇，即將出版的芯片戰(zhàn)爭：世界上最關鍵的技術戰(zhàn)爭作者米勒說，阿斯麥是一家荷蘭公司，但它也是一家嚴重依賴美國部件的荷蘭公司，特別是在其設備上。

這是政府的選擇

EUV光刻機由來自世界各地近800家供應商的多個模塊和數(shù)十萬個部件組成。每個模塊都在全球60個阿斯麥辦公室開發(fā)和生產(chǎn)，然后運到費爾德霍芬組裝。每臺組裝好的機器經(jīng)過測試后將被拆卸并運送給芯片制造商。EUV光刻機的IR代理運輸需要20輛卡車和3架波音747飛機。

阿斯麥沒有出口中國大陸EUV溫彼得說：世界上42個國家（瓦森納協(xié)議成員國）已經(jīng)同意實施出口管制，因為它非常關鍵，溫彼得說，所以這不是我們的選擇，而是政府的選擇。

美國對荷蘭政府的壓力早在特朗普任期內就開始了。查爾斯是美國總統(tǒng)副國家安全顧問·庫珀曼（Charles Kupperman）2019年，他邀請荷蘭外交官到白宮，并向后者施加壓力，稱忠實盟友不會出售給中國大陸EUV這類設備。庫珀曼還警告荷蘭，如果沒有美國零部件，阿斯麥的設備將無法運行，白宮有權限制這些零部件出口荷蘭。

中國(大陸)想加入這場比賽。Semico Research的喬安妮·但由于政治原因，中國(大陸)無法獲得這項技術。

極紫外光刻機正在工作圖源：阿斯麥

然而，阿斯麥正在以另一種方式與中國大陸做生意。該公司更新了所謂的深紫外線（DUV）舊的光刻系統(tǒng)，并向中國大陸出售給中國大陸。溫彼得透露，96%的阿斯麥設備仍在使用中。

關于向中國大陸出售更多信息DUV米勒說：提高其生產(chǎn)接近尖端半導體的能力是否也是一種‘國家安全風險’，存在許多爭議，我認為阿斯麥在未來幾年將向中國出售DUV設備的能力也可能受到新的限制。

EUV芯片制造商可以從阿斯麥、尼康和佳能三家公司購買DUV光刻機。

盡管日本尼康仍然是光刻機市場的競爭對手之一，但阿斯麥是EUV唯一的供應商。外國行業(yè)專家認為，其他公司可能需要幾十年才能趕上，一方面是因為阿斯麥擁有專有技術，另一方面是因為阿斯麥與數(shù)百家供應商達成了復雜而獨家的協(xié)議。

溫彼得說：我們對一些客戶來說是獨一無二的，一些供應商對我們來說也是獨一無二的，一些人說，這種幾乎共生的關系比婚姻更糟糕，因為你不能離婚。

2021年第四季度，阿斯麥光刻機出貨信息

今年1月，溫彼得對中國大陸市場說：中國不太可能獨立復制（replicate）頂級的光刻技術，因為阿斯麥依賴于不懈的創(chuàng)新，并整合了只能從非中國供應商那里獲得的部件。但我的意思并不是絕對不可能的，因為中國的物理定律和我們一樣。永遠不要那么絕對，他們肯定會嘗試的。

半導體是一個高風險的行業(yè)，阿斯麥是收購一些供應商的一種方式，比如位于圣地亞哥的美國Cymer，它是EUV大功率光源制造商。2020年，阿斯麥還收購了德國Berliner Glas，這是一家陶瓷和光學模塊制造商，支持實現(xiàn)EUV和DUV產(chǎn)品開發(fā)藍圖非常重要。今年1月，Berliner Glas一場火災發(fā)生了，但溫彼得說，這場火災不會對今年的設備運輸產(chǎn)生重大影響。

財務報告顯示，阿斯麥2021年總收入為186億歐元(約1339億元），同比增長33%；凈利潤為59億歐元（約425億元），同比增長66%；毛利率為53%，比去年同期增長4個百分點。預計2022年銷售額將增長20%，未來10年復合增長率將增長11%。